轉(zhuǎn)自：中國證券報·中證網(wǎng)

　　中證網(wǎng)訊（王珞）近日，萬業(yè)企業(yè)旗下上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司（以下簡稱“凱世通”）成功向一家新簽集成電路戰(zhàn)略客戶交付了一臺超低溫離子注入機，這是繼向該客戶交付首臺低能大束流設(shè)備一個月后的又一重大進展，標志著凱世通在集成電路重大裝備國產(chǎn)化與產(chǎn)業(yè)化方面再迎新突破。今年以來，凱世通持續(xù)發(fā)力，累計交付20余臺高端離子注入機，共計服務(wù)11家12英寸晶圓廠客戶產(chǎn)業(yè)化大生產(chǎn)。

　　超低溫離子注入工藝主要用于晶圓預(yù)非晶化處理，可有效提升晶體管性能，具有極高的技術(shù)難度，應(yīng)用于邏輯、DRAM存儲、功率器件、CIS圖像傳感器等領(lǐng)域。凱世通基于自主創(chuàng)新攻克了一系列關(guān)鍵技術(shù)，研制出超低溫低能大束流離子注入機，具備高可靠性、高均勻性等優(yōu)勢，滿足了主流晶圓廠量產(chǎn)需求。

　　離子注入機是芯片制造的關(guān)鍵裝備，凱世通致力于為集成電路行業(yè)客戶提供性能先進、穩(wěn)定可靠的離子注入設(shè)備與技術(shù)解決方案。通過不斷的技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)品迭代，凱世通離子注入機設(shè)備性能持續(xù)改進，獲得了國內(nèi)主流晶圓廠客戶的廣泛認可與一致好評，多次獲得重點客戶復(fù)購訂單并成功拓展新客戶。

　　展望未來，凱世通將繼續(xù)保持銳意進取、追求卓越的發(fā)展態(tài)勢，不斷增強科技實力與創(chuàng)新能力，沖鋒在前、勇挑重擔(dān)，面向國內(nèi)集成電路行業(yè)客戶需求，推出更多具有創(chuàng)新性和競爭力的新產(chǎn)品，服務(wù)國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

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