轉自：證券日報網
????本報訊 （記者張文湘）12月18日，上海萬業企業股份有限公司（以下簡稱“萬業企業”）宣布，旗下上海凱世通半導體股份有限公司（以下簡稱“凱世通”），成功向一家新簽集成電路戰略客戶交付一臺超低溫離子注入機，這是繼向該客戶交付首臺低能大束流設備一個月后的又一重大進展，標志著凱世通在集成電路重大裝備國產化與產業化方面再迎新突破。
????資料顯示，離子注入機是芯片制造的關鍵裝備，凱世通致力于為集成電路行業客戶提供性能先進、穩定可靠的離子注入設備與技術解決方案。今年以來，凱世通持續發力，累計交付二十余臺高端離子注入機，共計服務十一家12英寸晶圓廠客戶產業化大生產。
????萬業企業介紹稱，超低溫離子注入工藝主要用于晶圓預非晶化處理，可有效減少晶體缺陷，降低漏電流，從而提升晶體管性能，具有極高的技術難度。凱世通基于自主創新攻克了超低溫晶圓冷卻及回溫技術、顆粒污染控制技術，超低溫注入工藝技術等一系列關鍵技術，研制出超低溫低能大束流離子注入機，可實現零下100℃下的預非晶化離子注入，具備高可靠性、高均勻性等優勢，滿足了主流晶圓廠量產需求。
（編輯 張鈺鵬）
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