證券時報記者 阮潤生

　　經歷產業周期性回調以及地緣政治沖擊，半導體設備賽道仍彰顯了“坡長雪厚”的特點，2022年A股半導體設備板塊大部分公司業績保持增長。盡管板塊整體業績增速有所下降，但龍頭公司北方華創預告今年一季度盈利最高同比增長200%，進一步提振市場信心。

　　證券時報·e公司記者注意到，多家廠商表示，逆市飄紅的業績主要受益于國產半導體設備占有率提升，同時通過完善產品種類，提升了抗產業周期風險能力。有國內頭部晶圓廠商向記者表示，今年公司產線已經加大對國產設備、材料的驗證和導入力度。

　　龍頭公司業績高增長

　　國產光伏、半導體硅片設備龍頭晶盛機電最新預測，去年實現凈利潤29.24億元，同比增長約七成，并預計今年一季度業績進一步增長，歸母凈利潤8億元~9億元，同比增長80.86%~103.47%。得益于加速推進石英坩堝、金剛線等先進材料業務的擴產和品質提升，公司業績同比大幅增長。

　　晶盛機電高管介紹，目前公司已基本實現8~12英寸大硅片設備的全覆蓋并批量銷售，6英寸碳化硅外延設備實現批量銷售且訂單量快速增長，產品質量達到國際先進水平；公司在手半導體設備合同訂單約34億元。

　　國產半導體設備龍頭北方華創的業績快報也給市場注入“強心劑”：去年公司實現營業收入146.88億元，同比增長約五成；歸屬于上市公司股東的凈利潤23.53億元，同比增長118.37%；今年一季度公司盈利增長提速。據預測，2022年一季度北方華創實現營業收入36億元~40億元，同比增長68.56%~87.29%；盈利5.6億元~6.2億元，同比增長171.24%~200.3%。

　　北方華創刻蝕機、PVD（物理氣相沉積技術）、CVD（化學氣相沉積）、氧化/擴散爐、退火爐、清洗機等產品在集成電路及泛半導體領域實現量產應用，構建了半導體裝備多品種、跨領域的產品平臺，成為國內先進的半導體裝備供應商。對于去年業績增長，公司表示，營業收入增長主要是得益于半導體設備市場占有率提高，銷售訂單增長，以及成本及費用得到有效控制，增厚利潤。

　　業績發布后，北方華創股價4月14日強勢漲停，報收314.61元/股，收復自去年8月以來回調失地，整個半導體設備板塊也獲提振。半導體板塊經歷了2022年下挫后，復蘇預期不斷增強，2023年以來Wind半導體設備板塊累計上漲約30%。

　　半導體設備也帶動設備零部件廠商業績增長。富創精密發布業績快報顯示，去年公司凈利潤約2.4億元，同比增長近九成。公司高管接受調研時預計，隨著設備國產化率提升，公司現有首件產品的量產、公司產品向模組化方向發展以及向海外拓展，公司營收將會進一步增長。

　　除了半導體設備，半導體材料端業績也保持增長。A股電子特氣龍頭華特氣體預計，受益于國內半導體市場需求持續穩定增長，客戶放量、稀有氣體銷量增長及新產品批量供應和原客戶擴充品類，去年公司歸母凈利潤2億元，同比增長54.75%。

　　另外，金宏氣體來自半導體收入也顯著增長，去年已經成為公司營收貢獻最大的板塊，同比增三成至3.81億元，毛利率增至約44%。據介紹，電子特種氣體作為半導體制造的關鍵材料，金宏氣體已經逐步實現了超純氨、高純氧化亞氮、電子級正硅酸乙酯、高純二氧化碳等一系列產品的進口替代。公司自主研發的超純氨、高純氧化亞氮等產品已供應中芯國際、海力士、聯芯集成、積塔等一批知名半導體客戶。

　　前道設備業績增長強勁

　　目前約八成A股半導體設備上市公司已經披露年報或者業績快報，絕大多數公司去年實現業績增長；不過，受景氣度波動影響，板塊整體盈利增速有所下降。

　　據Choice金融終端不完全統計，2020年、2021年和2022年（已披露年報和業績快報上市公司），板塊上市公司盈利增長中位數分別是95%、100%和55%，2021年成為盈利增速高峰，去年板塊盈利增速或將回落。

　　進一步來看，設備板塊增速分化比較顯著，專注半導體制造前道以及產品線更齊全類公司業績增長相對更強勁。

　　清洗設備頭部公司盛美上海業績實現大跨越，公司凈利潤增速從2021年的35%提升至2022年的151%。除清洗設備外，盛美上海積極擴大產品組合，在半導體電鍍設備、半導體拋銅設備、先進封裝濕法設備、立式爐管設備等領域擴大布局；去年公司推出多款新設備新工藝產品，包括前道涂膠顯影Track設備、等離子體增強化學氣相沉積PECVD設備等。

　　國內半導體涂膠顯影設備的龍頭企業芯源微業績也逆勢提速：2021年公司凈利潤增速為58%，2022年業績快報顯示，公司凈利潤接近2億元，同比增長155%。

　　去年芯源微新簽訂單規模同比大幅增長，并采取多種措施保供保產，確保了疫情期間正常的生產經營活動，實現客戶端訂單的有序交付及順利驗收，收入規模持續增長。另外，公司集成電路前道晶圓加工領域產品收入實現快速放量，同時保持小尺寸及集成電路后道先進封裝領域產品收入穩步增長，公司利潤持續增長。

　　芯源微高管介紹，公司將持續鞏固在前道物理清洗、后道先進封裝及化合物等小尺寸領域的優勢競爭地位，目前公司簽單態勢良好，客戶需求旺盛。

　　另外，作為國產刻蝕設備龍頭，中微公司除布局薄膜設備外，還投資了光學檢測設備市場。2022年公司扣非凈利潤約9億元，同比增長1.83倍；去年新簽訂單金額約63.2億元，同比增長約五成。

　　相對而言，偏重半導體后道的測試設備類公司業績承壓。

　　國產測試機龍頭華峰測控凈利潤增速從2021年1.2倍增長降至2022年約兩成。在業績快報中，公司表示持續受到疫情的影響，疊加半導體市場景氣度的不斷低迷，給業績增長帶來了巨大挑戰。

　　華峰測控在模擬及數模混合測試設備領域打破了國外廠商的壟斷地位。民生證券指出，去年第四季度華峰測控的訂單已經出現底部回暖跡象，大功率測試及STS8300機臺放量，有望進一步打開增長空間。

　　加速國產設備導入

　　A股半導體設備廠商的業績增勢與國際趨勢相似。

　　國際半導體產業協會（SEMI）最新報告顯示，半導體制造設備的全球銷售額在2022年實現創紀錄的1076億美元，同比增長5%，增速回落。分產品類型來看，晶圓加工設備全球銷售額增長8%，而測試設備總銷售額同比下降4%。

　　考慮全球通貨膨脹導致消費性電子需求低迷，以及行業去庫存進程的因素，SEMI預期，2023年全球半導體設備市場規模將減少16%達912億美元；預計隨著庫存修正結束，看好2024年半導體設備市場將出現明顯回溫，市場規模將達1071.6億美元，有望同比增長18%。記者也注意到，部分半導體零部件廠商、氣體廠商下調了2023年業績增長預期。

　　分地區來看，去年中國投資步伐有所放緩，銷售額為283億美元，但依舊連續第三年成為最大的半導體設備市場。半導體周期下行，但國產半導體制造廠商非常給力，為設備廠商業績增長提供市場空間。

　　A股晶圓代工廠龍頭中芯國際將2023年全年資本支出從約320.5億元上調為456億元，用以支付長交期設備預付款；華虹半導體今年1月也獲國家集成電路產業基金二期等主體增資上市公司合營公司，并投資合計67億美元用于擴充12英寸晶圓產能。

　　除了受行業周期因素影響，國產半導體設備環節面臨更大的地緣政治和貿易沖突壓力。繼3月初荷蘭方面計劃實施新芯片出口限制，3月31日，日本政府方面計劃將高端半導體制造設備等23品類納入出口管制類別。中國外交部、商務部等此前均作出回應。

　　有國內頭部晶圓廠商向證券時報·e公司記者透露，公司產線已經加大對國產設備、材料的驗證和導入力度，作為今年重點任務來推進。

　　士蘭微董事長陳向東在近期接受證券時報·e公司專訪時也指出，士蘭微的芯片制造產線對國產設備、零部件、材料等供應商均持積極開放的態度，公司產線已經引入了很多國產“首臺套”設備。

　　“過去國產半導體發展慢，主要原因就是沒有大廠客戶帶動；現在國際形勢變化，大廠客戶愿意采用，并且形成良性互動。”陳向東指出，國產自主可控進程是個“持久戰”，需要產業鏈各環節充分參與和互動，才能讓國產半導體上下游產業鏈逐步發展成熟。

　　招商證券指出，近年來國內半導體設備廠商營收增速較快，但整體國產化率仍然較低，前端測試、涂膠顯影等設備國產化率預計均不足10%，刻蝕、熱處理、清洗等設備國產化率預計超過20%，仍有較大提升空間，建議關注市場空間較大、受管制影響較大、國產化率較低的設備，以及受益于整體國產化進程加速的其他設備和零部件標的。

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責任編輯：張恒星 SF142