格隆匯12月23日丨萬業企業(600641.SH)在互動平臺表示,萬業企業旗下凱世通緊跟技術發展趨勢和客戶需求,不斷強化離子注入機領域的技術領先優勢。針對 28nm 及更先進工藝對離子注入高精度、極少顆粒污染、高良率大產能的需求,采用多電極束流引出技術、超低能束流傳輸技術、離子束能量過濾技術、各向同性掃描、離子注入平臺等技術,研制了注入角度控制更加精準的真空各向同性機械掃描系統、超細微顆粒污染控制、覆蓋工藝廣的離子注入機系列產品,推進全系列離子注入機的產業化。通過多項技術的突破,凱世通不斷增強產品核心競爭力建立行業壁壘,涵蓋先進邏輯、存儲、功率器件、CIS 圖像傳感器四大應用領域。今年凱世通自主研發生產的 CIS(CMOS 圖像傳感器)低能大束流離子注入機正式入駐客戶生產線,凱世通也成為中國首個獲得此類訂單的本土供應商,并且已經贏得了該客戶的批量訂單。自去年以來,凱世通加大了對細分領域專用離子注入機的開發力度,形成了涵蓋 SOI 氫離子注入機、6/8 英寸 SiC 高溫離子注入機、中束流離子注入機及超高能離子注入機等在內的全系列產品矩陣布局,致力提升重大裝備自主可控能力,同時也為未來實現更加多元化的客戶結構奠定了堅實基礎。此外,公司新控股股東先導科技集團將以其自身產業資源,持續賦能萬業企業集成電路業務并優化上市公司產業結構。依托先導科技集團的資源協同,公司能從基礎材料到零部件自主研發供應能力對凱世通賦能,保障供應鏈的自主、穩定和安全。
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