轉自：上海證券報·中國證券網
上證報中國證券網訊 近日，凱世通成功向一家新簽集成電路戰略客戶交付了一臺超低溫離子注入機，這是公司繼向該客戶交付首臺低能大束流設備僅一個月后的又一重大進展，標志著凱世通在集成電路重大裝備國產化與產業化方面再迎新突破。今年以來，凱世通持續發力，累計交付20余臺高端離子注入機，共計服務11家晶圓廠客戶產業化大生產。
超低溫離子注入工藝主要用于晶圓預非晶化處理，可有效減少晶體缺陷，降低漏電流，從而提升晶體管性能，具有極高的技術難度，應用于邏輯、DRAM存儲、功率器件、CIS圖像傳感器等領域。凱世通基于自主創新攻克了超低溫晶圓冷卻及回溫技術、顆粒污染控制技術、超低溫注入工藝技術等一系列關鍵技術，研制出超低溫低能大束流離子注入機，可實現零下100℃下的預非晶化離子注入，具備高可靠性、高均勻性等優勢，滿足了主流晶圓廠的量產需求。
離子注入機是芯片制造的關鍵裝備，凱世通致力于為集成電路行業客戶提供性能先進、穩定可靠的離子注入設備與技術解決方案。通過不斷的技術創新與產品迭代，凱世通離子注入機設備性能持續改進，獲得了國內主流晶圓廠客戶的廣泛認可與一致好評，多次獲得重點客戶復購訂單并成功拓展新客戶。
凱世通表示，展望未來，公司將繼續保持銳意進取、追求卓越的發展態勢，不斷增強科技實力與創新能力，面向國內集成電路行業客戶需求，推出更多具有創新性和競爭力的新產品，服務國內集成電路產業高質量發展。（林玉蓮）
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