財聯(lián)社9月17日訊（編輯 劉越）半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)核心設(shè)備之一的光刻機跑出多只大牛股，張江高科周五收盤實現(xiàn)8天5板，8月25日迄今股價累計最大漲幅達86.33%，藍英裝備9.6-9.13期間6個交易日收獲3個20cm漲停，廣信材料9.5-9.11期間5個交易日獲3個20cm漲停。中信證券研報指出，據(jù)中國日報報道，荷蘭發(fā)放光刻機年內(nèi)發(fā)運許可，ASML將能夠在2023年底前繼續(xù)向中國出口其NXT：2000i和更先進的DUV光刻設(shè)備，看好半導(dǎo)體設(shè)備增量空間。

其中，16個交易日股價累計暴漲近九成的張江高科，公司投資的上海微電子旗下已有多個系列光刻機產(chǎn)品。據(jù)財聯(lián)社電報解讀欄目此前聯(lián)合星礦數(shù)據(jù)不完全梳理，上海電氣、東方明珠、金力泰、海立股份、茂萊光學(xué)、炬光科技、富創(chuàng)精密、美埃科技和蘇大維格等A股上市公司均為上海微電子相關(guān)標的，具體情況如下：

據(jù)中信證券研報梳理，在半導(dǎo)體設(shè)備各細分領(lǐng)域，清洗設(shè)備國內(nèi)廠商包括盛美上海、北方華創(chuàng)、至純科技和芯源微；CMP設(shè)備國內(nèi)廠商有華海清科、中電科45所；薄膜沉積設(shè)備國內(nèi)廠商有北方華創(chuàng)、拓荊科技；刻蝕設(shè)備國內(nèi)廠商有中微公司、北方華創(chuàng)和屹唐半導(dǎo)體等；涂膠顯影設(shè)備國內(nèi)廠商有芯源微；離子注入設(shè)備的國內(nèi)廠商有萬業(yè)企業(yè)、中科信；光刻設(shè)備的國內(nèi)廠商有上海微電子等；過程量檢測設(shè)備的國內(nèi)廠商有精測電子等。

浙商證券程兵等研報指出，從全球半導(dǎo)體設(shè)備競爭格局來看，半導(dǎo)體產(chǎn)線中最具價值量環(huán)節(jié)（光刻機、刻蝕機、薄膜沉積）的三大海外龍頭分別是：阿斯麥、拉姆研究、應(yīng)用材料，形成了穩(wěn)態(tài)競爭格局。因此，程兵認為假以時日，海外發(fā)展規(guī)律也會在大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場復(fù)刻，對應(yīng)國內(nèi)三大領(lǐng)域設(shè)備龍頭分別是：上海微電子、中微公司、北方華創(chuàng)。

如上圖所示，刻蝕機（20%）的價值量僅次于光刻機（30%），中微公司為刻蝕設(shè)備本土替代領(lǐng)軍者，華鑫證券毛正等9月14日研報指出，中微公司上半年實現(xiàn)營收25.27億元，同比增長28.13%。分產(chǎn)品來看，公司刻蝕設(shè)備在國內(nèi)外的市占率不斷提高，實現(xiàn)收入17.22億元，同比增長約32.53%；MOCVD設(shè)備在藍綠光LED生產(chǎn)線上繼續(xù)保持絕對領(lǐng)先的地位，實現(xiàn)收入2.99億元，同比增長約24.11%。

毛正指出，中微公司針對28nm及以下邏輯器件的一體化大馬士革刻蝕工藝開發(fā)的可調(diào)節(jié)電極間距的CCP刻蝕機PrimoSD-RIE已經(jīng)進入客戶驗證階段；超高深寬比刻蝕機已經(jīng)在客戶端驗證出具有刻蝕≥60:1深寬比結(jié)構(gòu)的能力；ICP刻蝕設(shè)備在12英寸的3D芯片的硅通孔刻蝕工藝上得到成功驗證，在全面滿足55nm、40nm和28nm邏輯芯片制造中ICP刻蝕工藝要求的基礎(chǔ)上，拓展了在先進邏輯、先進DRAM、更多層的3DNAND存儲芯片和特色器件等芯片制造中的應(yīng)用范圍。此外，公司積極布局用于功率器件應(yīng)用的第三代半導(dǎo)體設(shè)備市場，用于氮化鎵功率器件生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備PrismoPD5?目前已交付國內(nèi)外領(lǐng)先客戶進行生產(chǎn)驗證，并且正在開發(fā)下一代用于氮化鎵功率器件制造的新型MOCVD設(shè)備。

浙商證券邱世梁等9月6日發(fā)布的研報指出，北方華創(chuàng)是中國半導(dǎo)體設(shè)備平臺化龍頭，集成電路覆蓋刻蝕、沉積、清洗、熱處理、外延設(shè)備等。其中，ICP刻蝕設(shè)備國內(nèi)領(lǐng)先，新品深硅刻蝕設(shè)備實現(xiàn)批量出貨，12寸CCP晶邊刻蝕機進入多家生產(chǎn)線驗證；薄膜沉積設(shè)備突破PVD、CVD、ALD等沉積工藝，銅互聯(lián)、鋁、鎢、硬掩模等二十余款沉積設(shè)備成為國內(nèi)主流芯片廠的優(yōu)選機臺。

此外，海通國際周揚等9月1日研報指出，北方華創(chuàng)上半年新簽訂單飽滿，同比增長超30%，且以半導(dǎo)體訂單為主。同時，海外龍頭ASML/AMAT/TEL等均表示中國客戶需求強勁，且訂單具有持續(xù)性。

據(jù)星礦數(shù)據(jù)統(tǒng)計2023年上半年國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商中標數(shù)量，共有252臺半導(dǎo)體設(shè)備中標，其中檢測設(shè)備111臺、薄膜沉積設(shè)備39臺、刻蝕設(shè)備20臺。從A股上市公司來看，精測電子、北方華創(chuàng)、華虹公司、正帆科技、張江高科、拓荊科技和中微公司的具體中標情況見下圖：

其中，精測電子是國內(nèi)半導(dǎo)體檢測設(shè)備領(lǐng)域領(lǐng)軍企業(yè)之一，東方證券蒯劍等9月5日研報指出，精測電子在膜厚、OCD、電子束等多款設(shè)備領(lǐng)域在國內(nèi)已建立領(lǐng)先優(yōu)勢，已覆蓋2Xnm及以上制程，同時已獲得多家客戶批量訂單，截至1季報披露公司半導(dǎo)體領(lǐng)域在手訂單8.91億元，截至中報披露公司半導(dǎo)體領(lǐng)域在手訂單已達13.65億元，呈現(xiàn)快速增長趨勢。在技術(shù)難度更高的明場光學(xué)缺陷檢測設(shè)備領(lǐng)域，公司已完成首臺套交付，同時已取得更先進制程訂單，卡位優(yōu)勢明顯，未來有望持續(xù)放量。

華虹公司作為A股年內(nèi)最大IPO，8月7日首發(fā)上市。華金證券李蕙7月19日研報指出，華虹公司是中國大陸特色工藝晶圓代工龍頭，產(chǎn)能規(guī)模居中國大陸第二；作為半導(dǎo)體核心生產(chǎn)環(huán)節(jié)晶圓代工的大陸主要供應(yīng)商之一，公司有望較好地受益于我國半導(dǎo)體國產(chǎn)化進程。公司實控人為上海市國資委，獲大基金持股13.67%，成立以來公司深耕特色工藝晶圓代工；立足于55nm及以上成熟制程，公司目前已形成了包括嵌入式/獨立式非易失性存儲器、功率器件、模擬與電源管理、邏輯與射頻等多個特色工藝技術(shù)平臺，是中國大陸最大的特色工藝晶圓代工企業(yè)。

正帆科技為國內(nèi)較早開展為泛半導(dǎo)體行業(yè)客戶提供超高純工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。天風證券潘暕等8月25日研報指出，正帆科技在泛半導(dǎo)體、光纖通信、醫(yī)藥制造等領(lǐng)域積累了強大的客戶資源，包括中芯國際、長江存儲、京東方、三安光電、亨通光電、恒瑞醫(yī)藥、 SK 海力士、德州儀器等國內(nèi)外優(yōu)質(zhì)客戶。訂單方面，22年度鴻舸半導(dǎo)體獲得了國內(nèi)頭部工藝設(shè)備商的廣泛認證，新簽訂單迅速放量，2023年上半年實現(xiàn)凈利潤4791.93萬元。鴻舸半導(dǎo)體填補GAS BOX的國產(chǎn)化空白，為工藝設(shè)備上游的零部件國產(chǎn)化做出了重要貢獻。

東吳證券周爾雙等8月29日研報指出，拓荊科技作為薄膜沉積設(shè)備國產(chǎn)領(lǐng)軍者，不斷擴大PECVD通用介質(zhì)薄膜材料工藝和先進介質(zhì)薄膜材料工藝的應(yīng)用覆蓋面，持續(xù)獲取批量訂單和批量驗收，繼續(xù)保持競爭優(yōu)勢，具備持續(xù)擴張的潛力；ALD方面，PE-ALD設(shè)備PF-300TAstra獲得原有客戶和新客戶訂單，NF-300HAstra實現(xiàn)首臺產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用；Thermal-ALD出貨至不同客戶端進行產(chǎn)業(yè)化驗證，驗證進展順利。

海量資訊、精準解讀，盡在新浪財經(jīng)APP