轉自：上觀新聞

集成電路產業是支撐經濟社會發展和保障國家安全的戰略性、基礎性和先導性產業，是建設中國式現代化的新質生產力基石。

集成電路離子注入機是《國家集成電路產業發展推進綱要》中要求重點發展的三大關鍵裝備（光刻機、刻蝕機、離子注入機）之一，具有極高的技術門檻，在保障我國集成電路產業鏈安全持續運行方面，發揮著不可或缺的關鍵作用。

離子注入機主要用于芯片的電性改良與材料改性，根據注入離子的能量和劑量不同，分成低能大束流、中束流和高能離子注入機三類，市場大體按照60%、20%和20%分布。目前國內離子注入機市場被美國兩家廠商壟斷，國產化率僅約5%。

上海凱世通半導體股份有限公司（以下簡稱“凱世通”）致力于高端離子注入機的國產化，公司不斷攻堅克難、勇攀高峰，先后量產了技術難度最高、市場需求最大的低能大束流離子注入機與高能離子注入機，并實現了12英寸晶圓廠產線應用國產化突破以及產業化推廣，通過持續高強度的自主研發創新和技術迭代支持，目前設備表現足以媲美國際主流機型。

2024年11月，全球領先的稀散金屬全產業鏈與半導體產業集團-先導科技集團完成了對凱世通的控股股東萬業企業層面的交易，正式成為萬業企業的新實控人，將為凱世通的供應鏈安全與可持續發展帶來了基礎材料、核心零部件、工藝測試、整機研發等全方位強大支持，推動凱世通發展再上臺階。

從“0-1”走向“1-N”

凱世通于2009年在上海浦東張江高科園區成立，2011年起承擔了國家科技部02重大專項子課題，也獲得過上海市多個項目，布局離子注入機的多個關鍵技術。由于缺少集成電路國產化應用機會，凱世通早期主要從事集成電路核心零部件開發，并進入了光伏離子注入機市場推出4代產品，培育了核心團隊和國產供應鏈。

2018年，上海浦東科技投資有限公司旗下上市公司萬業企業（600641.SH）收購了凱世通，為凱世通注入了新的發展動力，同年國家大基金入股萬業企業，凱世通開始聚焦發展集成電路離子注入機。

在股東“不計成本、不惜代價”的大力支持下，凱世通迎難而上、加大研發投入，敢于啃“最硬的骨頭”，開發出技術難度最高、市場需求最大的低能大束流離子注入機與高能離子注入機，并率先實現了產線應用“從0到1”的突破，加速進行“1到N”產業化推廣，解決了“從無到有”的問題，并持續對標國際先進機臺，不斷提升改進設備性能，實現全方位替代。

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作為國產化率最低的集成電路設備之一，離子注入機研制的難度不僅僅在研發上，更體現在驗證工藝中。不同于其他設備可以通過光學檢測查看產品質量，離子注入機成品如何只有等到三個月后芯片做完測試電性能時才能知道結果，這也是限制國產離子注入技術發展的重要原因之一。萬事開頭難，但跨越“從0到1”的天塹后，“從1到N”的產業化道路，凱世通蹄疾步穩。

從2020年初簽署首批訂單到現在，低能大束流離子注入機（KST HC IMP Istellar 500）已獲得上海、北京、合肥、山東、武漢等多地12英寸晶圓廠的離子注入機采購訂單，累計數量近60臺，累計收獲設備訂單總金額超14億元，成為國內低能大束流離子注入機名副其實的產業化領跑者。

推動新質生產力發展，

芯片應用全覆蓋

凱世通自主研發的低能大束流離子注入機產品凝結了多年的研發積累，具備高束流傳輸效率、高注入精度、高產能的優勢特點，已進入多家重點12英寸晶圓廠，通過大批量產線驗證并簽署批量重復訂單，應用覆蓋了邏輯、存儲、功率、CIS圖像傳感器四大芯片應用領域，能夠滿足以AI、HBM為代表的新質生產力芯片制造的嚴苛要求。

伴隨著摩爾定律演進，芯片特征尺寸不斷微縮，超淺結摻雜注入帶動低能大束流離子注入機的需求，成為最大的市場。對于材料改性的需求，凱世通還研制了超低溫低能大束流、重金屬低能大束流離子注入機，持續完善產品矩陣，滿足用戶設備需求。

針對不同應用方向，凱世通研制了面向CIS芯片制造的大束流離子注入機，面向SOI襯底材料的大束流氫離子注入機，面向碳化硅芯片制造的6/8吋高溫碳化硅離子注入機。公司將面向新質生產力的應用方向，研制的全系列離子注入機，更好地服務集成電路國家戰略。

凱世通在離子注入機領域飛速前行的成功經驗，得益于公司此前對離子注入機技術的自主研發積累了完備的技術體系，也鍛煉出了一支懂理論也有實踐經驗的研發隊伍。

發揮“鏈主”功能，

零部件國產化

芯片國產化，裝備先行；裝備國產化，零部件是基礎。上下游協同創新是半導體產業鏈整體突破的必由之路。離子注入機是集成電路前道設備中系統復雜度最高的核心設備之一，包含數以萬計的零部件。

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凱世通在這一領域積極發揮“鏈主”功能，與上游眾多零部件供應商建立了戰略合作關系，推動微波等離子體噴槍、靜電吸盤材料、真空自動化機器人、超高能射頻加速器、射頻電源、高精度氣體流量計等關鍵零部件的國產化，并且聯合下游應用企業開展新技術和新產品研發，打造了一個具有韌性、多元化特征的供應鏈體系。

先導科技集團的加入，也將為凱世通的長遠發展注入了新的活力。先導科技集團從材料科技起步，經過30年的積累，已躍升為全球最領先的稀散金屬全產業鏈高科技企業之一，形成了材料科技、光電子、微電子、高端裝備及零部件、芯片設計和軟件算法等多技術平臺能力。

依托在半導體產業鏈上下游的深厚積累，先導科技集團不僅能為凱世通提供電子材料（如摻雜材料、前驅體、電子特氣）、關鍵零部件（如靜電卡盤、流量計、原位監測系統等）、離子源工藝測試的供應鏈支持，還能從基礎材料方面，以及自身在零部件的自主研發能力積極對凱世通賦能，增強凱世通供應鏈的自主性，穩定性和安全性。

集成電路作為上海三大產業之一，當前，上海集聚了涵蓋芯片設計、制造、封測以及設備、材料等集成電路多個領域的1200余家企業，匯聚了全國40%的產業人才，集聚了國內50%的行業創新資源，已成為國內集成電路產業鏈最完整、技術水平最高、綜合競爭力最強的地區之一。

在此背景下，未來，凱世通將持續努力，推動高端離子注入機領域綻放更多科研之花，結出更多產業之果，不斷提升國內芯片制造業的供應鏈韌性。

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