首批身價數億元生產設備今晨空運抵漢 全部設備調試31日結束

　　本報訊（記者 姚德春 通訊員 舒揚）今天凌晨3時55分，一架大型波音747國際貨運包機停落在武漢天河機場，機艙中裝運的是中芯國際武漢芯片廠12英寸芯片項目一期工程首批生產設備中貨值最昂貴的大型掃描光刻機。伴隨著它的悄悄來漢，標志著中芯國際武漢芯片廠離今年4月投產試運營又邁近了一步。

　　身價數億的光刻機抵漢

　　一個不眠之夜，對中芯國際武漢新芯集成電路制造有限公司總裁劉丹平來說。

　　在劉丹平焦急的期盼中，今日凌晨3時55分，從荷蘭飛抵武漢的波音747大型國際貨運包機在天河機場降落。至此，武漢新芯集成電路制造有限公司，終于迎來該項目一期工程的首批生產設備大型掃描光刻機。

　　據劉丹平介紹，運抵的大型掃描光刻機，是項目一期工程中最為昂貴的設備，它在整體工藝流程中扮演至關重要的角色。此生產設備價值數億元，將被用于12英寸晶圓的制造，它的到來對中芯國際武漢芯片廠項目的進展，具有里程碑的意義。

　　這臺光刻機總重量達34噸， 其中主機重達10噸，整個體積超過160立方米，共分23個溫控集裝箱進行運輸。它是集成電路生產超微細加工工藝設備的首席代表，是非常精密的光學機械設備， 其光學投影鏡頭及精密工作臺在運輸過程中對震動及溫度都有非常嚴格的要求。

　　為了確保運輸的安全，光刻機一路上享受了超貴賓級待遇，不僅是專機護送，就是連登機下機也是紅地毯式的全程相迎。

　　據介紹，這臺光刻機在荷蘭阿斯麥公司（ASML）總部出廠后，就被裝進專用的集裝箱，利用箱內自帶的空調系統滿足保溫的要求，經恒溫防震氣墊車運輸至荷蘭阿姆斯特丹國際機場，搭乘長城航空大型747全貨機，不遠萬里降落到天河機場。

　　下月在漢試投產

　　中芯國際武漢芯片廠自2006年6月28日正式開工建設以來，投資上百億元的武漢新芯集成電路制造有限公司何時投產，備受人們關注。昨天，劉丹平給出了時間表：3月將對生產設備進行聯合調試。4月，將投產試運營。

　　去年，中芯國際武漢芯片廠原計劃作為主打產品的動態存儲器(DRAM)，市場價格每況愈下，利潤被一再攤薄。作為經營管理方中芯國際不得不決定調整戰略：在漢投產后，將放棄動態儲存器的生產，把重點轉向毛利率較高的閃存存儲器(flash)。

　　據了解，由于產品線更換，武漢芯片廠廠務系統自2007年11月起進行全面調整，以適應新的工藝制程對不同制程、操作分區和廢水處理系統的要求。迄今，廠務工程核心系統（潔凈室、化學品供應系統、消防與工安系統，工藝排氣系統和廢水處理排放系統等）均已基本調整完畢并達到設計要求。

　　武漢新芯集成電路制造有限公司總裁辦副主任舒揚告訴記者，目前，中芯國際武漢芯片廠人員配置也在陸續到位，如今他們已經招募了600多名員工，其中絕大多數是武漢人。

　　中芯國際武漢芯片廠相關負責人透露，為盡快提高產能，隨著一批批的設備陸續到漢，他們將采取“來一臺，安裝一臺，調試一臺”的快速聯調操作方案。“到本月31日，第一條生產線的所有設備聯調結束。為下一步投產試運營做好準備。”