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國內首臺自主知識產權光刻機合肥問世

http://www.sina.com.cn 2007年12月27日 02:10 第一財經日報

  

國內首臺自主知識產權光刻機合肥問世

圖片 國內首臺自主知識產權光刻機合肥問世

12月25日,科研人員通過投影儀介紹國內首臺自主知識產權光刻機。當日,國內首臺具有世界領先水平、擁有自主知識產權的直寫式光刻機在合肥問世,標志著我國亞微米級光刻機完全依賴進口的局面將被打破。 新華社圖


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