無阻塞陣列光開關研制成功

　　近日，國家“863”專家組在北京主持召開了。

　　“基于微光電子機械系統(MOEMS)無阻塞16×16陣列光開關”項目驗收會，該項目是由上海光學精密機械研究所信息光學實驗室和上海交通大學微納米技術研究院聯合承擔的。專家們在認真聽取了項目負責人的匯報后，審查了有關研制報告、技術報告、測試報告等材料。專家們認為：課題組全面完成了合同任務，同意通過該項目的驗收。

　　“基于MOEMS無阻塞16×16陣列光開關”是基于“多路對多路無阻塞機械光開關”等多項專利技術，利用MEMS技術制備微電磁執行器，采取優化的Benes網絡結構，以2×2和4×4光開關為基本單元，構成的16×16陣列光開關，具有運動部件少、可靠性高和穩定性強等特點。經上海科技查新咨詢中心查新檢索確認，該項目所研制的16×16陣列光開關的性能指標達到了國際同類產品的先進指標，研究成果具有新穎性。

　　同時，該項目在研制過程中特別重視對16×16陣列光開關中2×2和4×4光開關器件的可靠性和穩定性工藝技術的深入研究，實現了2×2和4×4MEMES光開關系列，具備向產業化應用的工藝技術條件和能力。

　　（信息來源：機械電子頻道子站）

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