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一種采用多功能一體的模塊化設計，既能用于有機小分子和高分子材料電致發光器件的制備研究，又能進行稀土配合物的研究，并能實現高水平檢測和封裝的新型儀器“四室聯用、高真空、多功能發光器件制備系統”由中科院長春應化所研發成功，日前通過了國家自然科學基金委員會組織的專家驗收。有機電致發光器件(OLED)以其發光亮度高、驅動電壓低、易于實現大屏幕顯示，并能在柔性襯底上制備等突出優點，成為當今國際上的一個研究熱點。為進一步推進這一具有國際先進水平器件的研發，長春應化所在國家自然科學基金委員會
的支持下，于2002年1月開始了“四室聯用、高真空、多功能發光器件制備系統”這一專項基金項目的研發工作。經過兩年多的艱苦努力，他們先后攻克了多室、多模塊單元的組裝，發射材料蒸鍍和電極蒸鍍室聯用，發射材料蒸鍍、電極蒸鍍室和旋涂干燥箱三室聯用，發射材料蒸鍍、電極蒸鍍室、旋涂干燥箱和器件封裝室四室聯用等一系列關鍵技術。并通過精心設計和組裝，研發出具有我國自主知識產權的“四室聯用、高真空、多功能發光器件制備系統”的整機。經測試該儀器真空度、氣氛、蒸發源加熱功率的可控、有機膜和金屬電極膜的速度與厚度的可控等各項指標均達到了項目計劃要求。利用該儀器制備的標準器件，其性能均達到或優于國外同類儀器制備的器件性能。專家驗收委員會認為，該儀器采用多室、多功能和多檢測的立體設計，由有機薄膜室、電極薄膜室、真空—手套操作箱、高分子旋轉手套和長距離型樣品直線傳輸裝置、樣品交接機械手、閥門及真空系統等單元組成，可在原位真空條件下實現基片發光多層膜沉積至器件封裝集成一體化，具有明顯的創新性和較高的實用價值。
（信息來源：機械電子頻道子站）
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